○○作ってみた動画第3弾です。
今回はMAM72-42Vによる半導体搬送装置部品(A5052)の加工シーンを纏めました。
半導体製造装置は、高度な精度と静音性が求められるため、搬送装置部品もそれに応じた機能と性能が求められます。
今回のワークは高精度ボーリング加工で同軸度9.6μm、位置度7.7μm、主軸20000[min⁻¹]+高剛性機械による高速荒加工により生産効率向上を実現致しました。
2工程目の治具はワークの形状に合わせた形状になっており、1工程目で加工した製品の一部であるネジ穴を利用する事でクランプ傷を防ぎました。

さらに、マツウラ製の5軸、横形マシニングセンタにはマルチパレットシステムがオプションで選択可能です。段取り台にてワークを治具に固定出来るので加工エリアでの段取り時間短縮、固定したワークをパレットマガジン内に格納する事が出来るので夜間無人運転により更に生産性が向上します。 また、5軸機なのでワンチャッキングで多面加工が可能な為、シンプルな治具で加工が実現します。